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機(jī)械泵,擴(kuò)散泵,及真空泵之間是什么關(guān)系?急需答案!謝謝

無(wú)!
問(wèn) 提問(wèn)者:網(wǎng)友 2017-09-24
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機(jī)械泵,擴(kuò)散泵都是真空泵.機(jī)械泵能達(dá)到的真空度較底,一般在10的負(fù)4次方托左右.擴(kuò)散泵能達(dá)到的真空度較高,可達(dá)10的負(fù)8次方托或更高.擴(kuò)散泵一般需要機(jī)械泵作前級(jí),在達(dá)到一定真空度后才可啟動(dòng).
回答者:網(wǎng)友
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